Sistem penyemprotan atomisasi ultrasonik digunakan untuk integrasi ke dalam ruang vakum. Melalui percobaan, telah terbukti bahwa desain sistem penyemprotan atomisasi ultrasonik yang unik dapat diintegrasikan ke dalam platform yang disegel vakum, cocok untuk aplikasi seperti deposisi uap polimer (PVD) dan deposisi uap kimia organik logam (MOCVD). Karakteristik atomisasi berkecepatan rendah yang dihasilkan oleh sistem penyemprotan atomisasi ultrasonik dapat menghasilkan awan uap dengan distribusi tetesan yang ketat dan ukuran tetesan yang dikendalikan frekuensi. Karena fakta bahwa nozel atomisasi ultrasonik bekerja dengan mengubah gelombang suara frekuensi tinggi menjadi getaran mekanis, cairan yang bersentuhan dengan permukaan nozzle di atom tanpa menambahkan udara atau gas, sehingga integritas ruang vakum tidak melemah selama proses penyemprotan.
Teknologi generator ultrasonik yang terintegrasi ke dalam sistem penyemprotan atomisasi ultrasonik memberikan energi listrik yang diperlukan untuk atomisasi dan dilengkapi dengan fungsi penyeimbangan beban canggih, yang secara otomatis dapat menyesuaikan untuk beradaptasi dengan kondisi vakum yang berbeda, sehingga mempertahankan karakteristik penyemprotan yang paling stabil selama proses pengendapan vakum.
Sistem penyemprotan atomisasi ultrasonik cocok untuk lingkungan vakum suhu tinggi dan memiliki fungsi pendinginan dan fungsi pemantauan suhu untuk memastikan perlindungan termal yang tepat.
Keuntungan Aplikasi Ruang Vakum:
- Perangkat elektronik yang dirancang untuk penyeimbangan beban
- Perlindungan dan Pemantauan Suhu Tinggi
- Kondisi Vakum Unik Desain Pembatasan Aliran Cairan
- Atomisasi dihasilkan tanpa adanya udara/gas, mempertahankan integritas vakum
