Nozel hamburan menggunakan udara/gas bertekanan rendah untuk menghasilkan pola semprotan yang seragam dan lebar, dengan masing-masing nozzle mampu hingga 9,8 inci (25 sentimeter), tergantung pada jarak dari substrat. Kecepatan aliran udara dapat dikendalikan untuk memungkinkan dampak rendah atau tinggi dari semprotan atomisasi pada produk atau substrat. Beberapa nozel yang terhubung secara seri dapat mencapai lebar tak terbatas. Desain nozzle hamburan digunakan untuk pola lebar yang sangat berulang dalam nozel ramping.
Jenis hamburan nozzle ultrasonik adalah nozzle atomisasi ultrasonik dengan semprotan topan kerucut. Ia menggunakan teknologi nozzle atomisasi ultrasonik, dan melalui desain saluran aliran vortex khusus, gas pembawa diubah menjadi aliran udara berputar yang seragam, sehingga atomisasi ultrasonik dari kabut cair tersebar dalam bentuk semprotan siklon, memperluas semprotan pada semprotan Area alat penyemprot. Nozel ultrasonik juga dapat disemprotkan pada permukaan vertikal atau melengkung dan substrat sudut lainnya.
Aplikasi khas nozel ultrasonik hamburan adalah lapisan fotoresis pada chip semikonduktor, di mana fotoresis disemprotkan ke chip semikonduktor. Karena hamburan rotasi kabut yang dipancarkan oleh nozzle ultrasonik tipe hamburan, film fotoresis yang seragam dapat dibentuk tidak hanya pada bidang wafer, tetapi juga di dinding samping dan sudut mikrostruktur wafer. Selain itu, nozzle ultrasonik tipe hamburan juga dapat digunakan untuk pelapis sel surya film tipis, pelapis sel surya kalsium titanate, pelapisan film transmisi dan refleksi, pelapis film isolasi termal, pelapisan pelapis superhidofobik, pelapis fluks PCB dan aplikasi lainnya.
Prinsip:
Nozel ultrasonik mengubah gelombang suara frekuensi tinggi menjadi energi mekanik melalui transduser piezoelektrik, dan kemudian mengubah energi mekanik menjadi cairan. Getaran longitudinal ke atas dan ke bawah ini menghasilkan gelombang berdiri dalam film cair di ujung nosel ultrasonik, di mana amplitudo gelombang ini dapat dikontrol oleh generator daya. Gelombang cairan stasioner ini dapat memanjang ke atas dari atas nozzle ultrasonik, dan ketika tetesan meninggalkan permukaan atom nozzle, mereka terurai menjadi kabut halus seragam dari tetesan mikrometer berukuran mikrometer.
Tidak seperti nozel tekanan, nozel ultrasonik tidak menggunakan tekanan tinggi untuk memaksa cairan melalui lubang kecil untuk menghasilkan semprotan. Cairan masuk melalui pusat nozzle yang relatif besar tanpa tekanan dan di atomisasi oleh getaran ultrasonik di dalam nozzle.
Setiap nozzle ultrasonik beroperasi pada frekuensi resonansi tertentu, yang menentukan ukuran median tetesan. Perbedaan ukuran tetesan sangat kecil, dan distribusinya dapat diprediksi secara akurat dalam kisaran tertentu melalui perhitungan matematika. Misalnya, nosel 120 kHz menghasilkan ukuran tetesan median 18 mikron saat menyemprotkan air. Semakin tinggi frekuensinya, semakin kecil penurunan nilai median.
Keuntungan:
1. Penyemprotan permukaan besar, lebar penyemprotan: 40-150 mm
2. Coating uniformity:>Keseragaman 95%
3. Simpan Bahan Baku: Tingkat pemanfaatan bahan baku lebih dari 85%, yang empat kali lipat dari penyemprotan dua cairan tradisional
4. Kontrol presisi tinggi dari ketebalan lapisan: 20nm hingga puluhan mikrometer lapisan dapat disiapkan, dengan kontrol ketebalan lapisan yang tepat
5. Partikel Atomisasi Baik
6. Partikel Atomisasi Secara Seragam
7. dapat disemprotkan secara berselang atau terus menerus
8. Aliran semprotan ultra rendah
9. Tidak akan memblokir nosel
10. Nozzle Anti Korosi
11. penyemprotan presisi tinggi yang dapat dikendalikan
