Mesin Pelapis Semprot Ultrasonik untuk Aplikasi Semikonduktor dan Fotoresist

Dalam fabrikasi semikonduktor, penerapan photoresist, polimida, dan film tipis fungsional lainnya memerlukan ketelitian mutlak. Bahkan perbedaan mikroskopis dalam ketebalan film dapat menyebabkan kegagalan komponen yang sangat besar. Memanfaatkan yang canggihMesin Pelapis Semprot Ultrasonik memungkinkan produsen semikonduktor mencapai lapisan film-tipis yang sangat seragam pada topografi kompleks, termasuk parit dalam dan struktur mikro-rasio aspek-tinggi yang tidak dapat ditutupi secara efektif oleh lapisan spin tradisional.

Mengatasi Keterbatasan Spin Coating

Meskipun spin coat merupakan proses standar dalam industri, proses ini sulit dilakukan pada substrat non-planar, substrat persegi, atau wafer dengan rongga yang dalam, yang sering kali menyebabkan tepi manik tidak rata atau kantong kosong. Mesin pembentuk semprotan nosel ultrasonik memecahkan masalah ini dengan menyalurkan kabut teratomisasi yang sangat terkontrol langsung ke area target. Semprotan yang lembut dan berkecepatan rendah memungkinkan cairan mengendap secara merata di dalam alur mikro tanpa meninggalkan kantong udara atau menyebabkan material menggenang.

Dirancang untuk Lingkungan Cleanroom{0}}Keandalan Tinggi

Produksi semikonduktor memerlukan peralatan yang dapat beroperasi dengan andal dalam kondisi ruang bersih yang ketat.FUNSONIKmerancang dan memproduksi peralatan ultrasonik kelas-komersial yang terintegrasi dengan mulus ke jalur pemrosesan wafer otomatis. Sistem kami dibuat menggunakan-bahan dengan kemurnian tinggi untuk mencegah kontaminasi bahan kimia dan memastikan dinamika fluida yang konsisten selama siklus produksi yang panjang.

FUNSONIKmenyediakan model standar serta konfigurasi yang disesuaikan dan disesuaikan agar sesuai dengan ruang ruang bersih Anda, persyaratan viskositas cairan, dan target keluaran. Izinkan kami membantu Anda memaksimalkan hasil wafer dan mengurangi konsumsi bahan kimia yang mahal.

Dapatkan penawaran teknis singkat dari meja layanan B2B kami:

E-mail:tina@fun-sonic.com

Saluran telepon: +86-571-63325803

Seluler: +8618966176048